Dầu rất cần thiết để tạo chân không trong máy bơm chân không cánh quạt quay được bôi trơn bằng dầu. Nó có nhiều chức năng: Bôi trơn để giảm ma sát và chống mài mòn, bịt kín để đóng các khe hở cơ học nhỏ và sau đó tăng độ kín và đảm bảo hiệu quả nén tối đa, làm mát để lưu trữ nhiệt từ chuyển động của các bộ phận chuyển động, xử lý và nén và vận chuyển đến bộ phân tách và tỏa nhiệt ra môi trường để làm mát thêm cho máy bơm. Ngay cả máy bơm chân không khô, máy thổi và máy nén cũng cần dầu cho hộp số của chúng để tránh mài mòn sớm và đảm bảo hoạt động trơn tru với độ ồn và độ rung thấp.
